Дата публикации: 2019

Дата публикации в реестре: 2021-08-05T17:55:16Z

Аннотация:

Проведено моделирование процесса лазерного формирования отверстий в кремниевой подложке толщиной 250 мкм, диаметр отверстия 0,1 — 0,2 мм. Рассмотрено влияние параметров лазерного излучения на время формирования и качество сквозного отверстия.

Тип: Статья