Дата публикации: 2020

Дата публикации в реестре: 2021-08-05T17:55:29Z

Аннотация:

Предложена модель для расчета объемного распределения концентрации примеси внедренной в твердое тело методом ионной имплантации с использованием маскирующих покрытий. Математической основой модели является использование распределения Пирсона VII, описывающее распределение концентрации при использовании модели точечного пучка ионов. Установлены особенности влияния момента эксцесса на пространственное распределения примеси.

Тип: Статья