Рассмотрено построение мехатронных пространственных систем перемещений на основе прецизионного привода прямого действия и механизмов параллельной кинематики. Описана структура реконфигурируемых систем перемещений с шестью и с тремя степенями свободы, предназначенных для встраивания в прецизионное сборочное и оптико-механическое оборудование микроэлектроники.