Исследование влияния кремниевых пластин на СВЧ разряд в плазмотроне резонаторного типа

Мадвейко, С. И.; Тихон, О. И.; Тодин, П. А.; Бордусов, С. В.; Достанко, А. П.

Исследование влияния кремниевых пластин на СВЧ разряд в плазмотроне резонаторного типа

Мадвейко, С. И., Тихон, О. И., Тодин, П. А., Бордусов, С. В., Достанко, А. П.

Дата публикации: 2020

Дата публикации в реестре: 2021-08-05T17:55:55Z

Аннотация:

Представлено исследование влияния площади кремниевых пластин, помещённых в объём крупногабаритной плазменной камеры СВЧ плазмотрона, на особенности формирования СВЧ разряда и его временные нестабильности.

Ключевые слова:
публикации ученых, сверхвысокочастотнные разряды, кремниевые пластины, плазмотроны

Тип: Статья