Оптимизация конструктивных параметров и режимов технологических операций формирования приборных структур кремниевых микростриповых детекторов
Рощенко, П. С.,
Ловшенко, И. Ю.,
Стемпицкий, В. Р.,
Roshchenko, P. S.,
Lovshenko, I. Yu.,
Stempitsky, V. R.
Связанные документы (рекомендация CORE)