Влияние степени легирования алюминием на механические и триботехнические характеристики пленок нитрида титана-алюминия

Голосов, Д. А.; Окс, Е. М.; Бурдовицин, В. А.; Нгуен, Т. Д.; Мельников, С. Н.; Завадский, С. М.; Поболь, И. Л.; Кананович, Н. А.; Тиан, К.; Лам, Н. Н.

Влияние степени легирования алюминием на механические и триботехнические характеристики пленок нитрида титана-алюминия

Голосов, Д. А., Окс, Е. М., Бурдовицин, В. А., Нгуен, Т. Д., Мельников, С. Н., Завадский, С. М., Поболь, И. Л., Кананович, Н. А., Тиан, К., Лам, Н. Н.

Дата публикации: 2020

Дата публикации в реестре: 2021-08-05T17:58:09Z

Аннотация:

Проведены исследования механических и триботехнических характеристик плёнок нитрида титана-алюминия, нанесённых методом реактивного магнетронного распыления из Ti-Al мозаичных мишеней с различной концентрацией алюминия. Получены зависимости элементного состава, микротвёрдости, коэффициента трения от степени легирования плёнок алюминием и концентрации азота в Ar/N2 смеси газов процессе нанесения плёнок. Установлено, что увеличение содержания алюминия в плёнке приводит к увеличению твёрдости плёнок и снижению коэффициента трения. Для концентрации азота в плёнке имеется оптимум, при котором достигается максимальная твёрдость и низкие значения коэффициента трения. Максимальная твёрдость HK 23,5 ГПа и минимальный коэффициент трения 0,082 получены для плёнок состава Ti5.

Ключевые слова:
публикации ученых, тонкие плёнки, износостойкие покрытия, нитрид титана - алюминия, реактивное магнетронное распыление, мозаичная мишень, микротвёрдость, износостойкость

Тип: Статья

Влияние степени легирования алюминием на механические и триботехнические характеристики пленок нитрида титана-алюминия

Связанные документы (рекомендация CORE)

Партнеры

Индексация