Дата публикации: 2011

Дата публикации в реестре: 2021-08-05T17:58:26Z

Аннотация:

Исследован процесс внедрения водорода в микро- и нанодисперсные порошки кремния в зависимости от величины мощности ВЧ-разряда, парциального давления водорода в реакторе и дисперсности частиц микропорошка в условиях плазменного воздействия. Результаты исследований позволили установить механизм внедрения водорода в порошки кремния учитывая то, что величина подводимой ВЧ-мощности плазменного разряда определяет эффективность генерации активных частиц и что в свою очередь способствует увеличению их сорбции.

Тип: Статья