Исследование  наноструктуры  поверхности  тонких пленок  сплавов  Al‒Mn и Al‒Ni  на  стеклянных  подложках

Ташлыкова-Бушкевич, И. И.; Измайлович, А. С.; Столяр, И. А.; Денисов, В. А.; Деркач, А. В.; Tashlykova-Bushkevich, I. I.; Izmailovich, A. S.; Stoliar, I. А.; Denisov, V. A.; Derkach, A. V.

Исследование наноструктуры поверхности тонких пленок сплавов Al‒Mn и Al‒Ni на стеклянных подложках

Ташлыкова-Бушкевич, И. И., Измайлович, А. С., Столяр, И. А., Денисов, В. А., Деркач, А. В., Tashlykova-Bushkevich, I. I., Izmailovich, A. S., Stoliar, I. А., Denisov, V. A., Derkach, A. V.

Дата публикации: 2020

Дата публикации в реестре: 2021-08-05T18:00:04Z

Аннотация:

Методами сканирующей зондовой микроскопии и растровой электронной микроскопии исследована наноструктура поверхности пленок сплавов Al‒2,1 ат. % Mn и Al‒1,4 ат. % Ni, сформированных осаждением покрытия на стеклянную подложку при ассистировании собственными ионами. Установлено, что при легировании алюминия степень морфологической неоднородности поверхности пленок снижается. Обнаружено, что параметры шероховатости пленок коррелируют с размером и плотностью микрочастиц капельной фракции. Surface nanostructure of films of Al‒2.1 at.% Mn and Al‒1.4 at.% Ni alloys has been investigated by means of scanning probe microscopy and scanning electron microscopy. It is obtained that alloying of aluminum results in the reduction of the level of surface morphological heterogeneity of films. Roughness parameters of films are correlated with size and density of microparticles of droplet fraction.

Ключевые слова:
публикации ученых, ионно - ассистированное осаждение, сканирующая зондовая микроскопия, ion-assisted deposition, scanning probe microscopy

Тип: Статья

Исследование наноструктуры поверхности тонких пленок сплавов Al‒Mn и Al‒Ni на стеклянных подложках

Связанные документы (рекомендация CORE)

Партнеры

Индексация