Полупроводниковый газовый сенсор, содержащий кремниевую подложку с выполненной на ней мембраной на основе нитрида кремния, над которыми расположен тонкий подслой анодного оксида тантала, сформированного под пористым слоем анодного оксида алюминия, на котором последовательно сформированы пленочный нагревательный элемент, пленочные электроды и газочувствительный слой, причем толщина подслоя анодного оксида тантала составляет от 0,02 до 0,05 мкм.
2. Сенсор по п. 1, отличающийся тем, что пленочный нагревательный элемент и пле-
ночные электроды для газочувствительного слоя выполнены из платины.
