Нанокомпозитные материалы на основе пористого кремния и легкоплавких металлов

Гревцов, Н. Л.; Бондаренко, В. П.; Ланин, В. Л.; Grevtsov, N. L.; Bondarenko, V. P.; Lanin, V. L.

Нанокомпозитные материалы на основе пористого кремния и легкоплавких металлов

Гревцов, Н. Л., Бондаренко, В. П., Ланин, В. Л., Grevtsov, N. L., Bondarenko, V. P., Lanin, V. L.

Дата публикации: 2020

Дата публикации в реестре: 2021-08-05T18:01:00Z

Аннотация:

Исследована возможность осаждения в каналы пор пористого кремния легкоплавких металлов индия и олова, а также сплава олово-цинк-кадмий. Металлы были осаждены на подготовленные анодированием подложки из мезопористого кремния путём расплавления при ультразвуковой обработке. Изучение образцов методами сканирующей электронной микроскопии и энергодисперсионной рентгеновской спектроскопии показало, что данный метод обеспечивает полное заполнение каналов пор металлом, обеспечивая его наибольшую концентрацию в верхней части канала. Deposition of three different fusible metals into porous silicon was evaluated: In, Sn and a Sn-Zn-Cd alloy. Each metal was deposited via ultrasound-assisted high temperature processing onto porous silicon wafers obtained by anodizing monocrystalline silicon. The results of scanning electron microscopy and energy-dispersive X-ray spectroscopy suggest that this method allows to completely fill the pore channels with metal, with its highest concentration observed in the topmost part of the porous layer.

Ключевые слова:
публикации ученых, пористый кремний, наноструктуры, легкоплавкие сплавы, ультразвук, porous silicon, nanostructures, fusible alloys, ultrasonic processing

Тип: Статья