В работе исследован рост, структура и оптические свойства эпитаксиальных пленок Ca2Si и CaSi2 на кремниевых подложках с ориентациями Si(111), Si(100) и Si(110). Проведено сравнение экспериментальных и теоретических данных оптической спектроскопии и получено соответствие в области межзонных переходов, а также - в области фононов.