Оценка профиля выработки мишени магнетронной распылительной системы методом Монте-Карло

Шекелевский, В. В.; Бездников, М. С.

Оценка профиля выработки мишени магнетронной распылительной системы методом Монте-Карло

Дата публикации: 2021

Дата публикации в реестре: 2021-08-05T18:03:03Z

Аннотация:

В работе представлена методика оценки геометрии профиля зоны эрозии мишени исходя из определения пространственного распределения электронов над поверхностью мишени методом Монте-Карло частиц.

Ключевые слова:
материалы конференций, магнетронные распылительные системы, Монте-Карло метод

Тип: Статья

Оценка профиля выработки мишени магнетронной распылительной системы методом Монте-Карло

Связанные документы (рекомендация CORE)

Партнеры

Индексация