Разработать многокристальный микроэлектронный модуль для силовых устройств космической техники на базе нано-микроэлектронной алюмооксидной технологии : отчет о НИР (заключ.)

Сокол, В. А.; Яковцева, В. А.; Литвинович, Г. В.; Радионов, А. А.; Шиманович, Д. Л.; Гомолко, П. В.; Копоть, А. И.; Михайлов, Д. Н.; Ярошевич, И. В.; Мельникова, С. В.

Разработать многокристальный микроэлектронный модуль для силовых устройств космической техники на базе нано-микроэлектронной алюмооксидной технологии : отчет о НИР (заключ.)

Сокол, В. А., Яковцева, В. А., Литвинович, Г. В., Радионов, А. А., Шиманович, Д. Л., Гомолко, П. В., Копоть, А. И., Михайлов, Д. Н., Ярошевич, И. В., Мельникова, С. В.

Дата публикации: 2012

Дата публикации в реестре: 2021-08-05T18:04:32Z

Аннотация:

Разработаны комплекты конструкторской и технологической документации без литеры на экспериментальные образцы многокристальных микроэлектронных модулей по электрохимической алюмооксидной технологии. Разработаны технологические инструкции на проведение процесса электрохимического анодирования алюминия, на процессы сварки и пайки на алюминиевых основаниях с электрохимическим оксидом алюминия, на проведение процесса химического осаждения пленок никеля, на проведение процесса электрохимического осаждения медных пленок.

Ключевые слова:
отчеты о НИР, многокристальный микроэлектронный модуль, электрохимическая алюмооксидная технология, анодный оксид алюминия

Тип: Technical Report