Разработка источника плазмы высокой плотности  на основе индуктивно-связанного разряда  и постановка технологии плазмохимического травления для формирования  топологии кристаллов  изделий силовой электроники : отчет о НИР (заключ.)

Котов, Д. А.; Ясюнас, А. А.; Родионов, Ю. А.; Комар, О. М.

Разработка источника плазмы высокой плотности на основе индуктивно-связанного разряда и постановка технологии плазмохимического травления для формирования топологии кристаллов изделий силовой электроники : отчет о НИР (заключ.)

Котов, Д. А., Ясюнас, А. А., Родионов, Ю. А., Комар, О. М.

Дата публикации: 2012

Дата публикации в реестре: 2021-08-05T18:04:33Z

Аннотация:

В работе выполнены исследования влияния конфигурации антенной системы источника индукционного разряда на параметры генерируемой плазмы. Подготовлена методика проведения эксперимента для снятия разрядных характеристик источника индукционного разряда. Выполнены исследования влияния конфигурации антенной системы источника индукционного разряда на параметры генерируемой плазмы. Рассчитан импеданс разрядной системы в зависимости от геометрии индуктора и плотности плазмы. Сняты зондовые характеристики плазмы индукционного разряда, получены зависимости плотности плазмы и температуры электронного газа от индуктивности антенной системы.

Ключевые слова:
отчеты о НИР, источник индуктивно-связанной плазмы, антенная система, индукционный разряд, плазмохимическое травление

Тип: Technical Report

Связанные документы (рекомендация CORE)

Партнеры

Индексация