Разработать технологические процессы формирования нанопористых  модифицированных тонких пленок, мембран и подложек из анодного  оксида алюминия для высокочувствительных химических сенсоров и  гироскопических сенсоров угловых скоростей, изготавливаемых с использованием МЭМС-технологии: отчет о НИР (заключ.)

Горох, Г. Г.; Соловей, Д. В.; Сурганов, А. В.; Семеняков, Л. В.; Шиманович, Д. Л.; Захлебаева, А. И.

Разработать технологические процессы формирования нанопористых модифицированных тонких пленок, мембран и подложек из анодного оксида алюминия для высокочувствительных химических сенсоров и гироскопических сенсоров угловых скоростей, изготавливаемых с использованием МЭМС-технологии: отчет о НИР (заключ.)

Горох, Г. Г., Соловей, Д. В., Сурганов, А. В., Семеняков, Л. В., Шиманович, Д. Л., Захлебаева, А. И.

Дата публикации: 2013

Дата публикации в реестре: 2021-08-05T18:04:38Z

Аннотация:

Разработаны научные основы технологии изготовления анодированных алюминиевых подложек с заданными структурными параметрами. Исследованы методы формирования профилированных анодированных подложек и разработаны методы создания тонких нанопористых мембран в анодированных алюминиевых подложках.

Ключевые слова:
отчеты о НИР, нанопористые подложки, анодный оксид алюминия, нанопористые мембраны, химические сенсоры, МЭМС-технология

Тип: Technical Report

Связанные документы (рекомендация CORE)

Партнеры

Индексация