Исследование процесса ВЧ магнетронного формирования сегнетоэлектрических пленок и свойств конденсаторных структур на их основе: отчет о НИР (заключ.)

Завадский, С. М.; Голосов, Д. А.

Исследование процесса ВЧ магнетронного формирования сегнетоэлектрических пленок и свойств конденсаторных структур на их основе: отчет о НИР (заключ.)

Дата публикации: 2013

Дата публикации в реестре: 2021-08-05T18:04:39Z

Аннотация:

Установлены зависимости элементного состава нанесенных пленок от параметров процесса распыления и отжига. Проведена оптимизация состава мишеней для формирования керамических пленок заданного состава методом магнетронного распыления. Исследованы электрофизические свойства конденсаторных структур на основе керамических сегнетоэлектрических тонких пленок.

Ключевые слова:
отчеты о НИР, сегнетоэлектрики, танталат стронция-висмута, конденсаторные структуры, элементный состав, стехиометрия

Тип: Technical Report

Исследование процесса ВЧ магнетронного формирования сегнетоэлектрических пленок и свойств конденсаторных структур на их основе: отчет о НИР (заключ.)

Связанные документы (рекомендация CORE)

Партнеры

Индексация