Прецизионные термостабильные резистивные и емкостные элементы интегральных микросхем на основе наноструктурированных пленок вентильных металлов и композиционных анодных металлоксидов

Плиговка, А. Н.; Pligovka, А. N.

Прецизионные термостабильные резистивные и емкостные элементы интегральных микросхем на основе наноструктурированных пленок вентильных металлов и композиционных анодных металлоксидов

Дата публикации: 2013

Дата публикации в реестре: 2021-08-05T18:04:55Z

Аннотация:

Цель работы: установление закономерностей формирования металлоксидных пленок с островково-сетчатой и столбиково-матричной наноструктурой методом электрохимического анодирования тонкопленочной системы Al/Та, определение их морфологических, структурных и электрофизических характеристик, а также разработка на их основе конструкций и технологий изготовления прецизионных термостабильных резистивных и емкостных элементов интегральных микросхем. Objective: the establishment of ways of metal oxide film formation with island-grid and column-matrix nanostructures by electrochemical anodization of the bilayer Al/Та system, the determination of their morphological, structural, electrical proper-ties, and the development on their basis design and manufacturing technologies of pre-cision thermostable resistive and capacitive elements of integrated circuits

Ключевые слова:
авторефераты диссертаций, электрохимическое анодирование, пористый оксид алюминия, оксид тантала, electrochemical anodization, porous anodic alumina, tantalum oxide

Тип: Abstract of the thesis

Связанные документы (рекомендация CORE)

Партнеры

Индексация