Реконфигурируемые механизмы параллельной кинематики для многокоординатных систем перемещений в сборочном и оптико-механическом оборудовании микроэлектроники
Цель работы: разработка реконфигурируемых исполнительных механизмов параллельной кинематикис шестью степенями свободы для многокоординатных систем перемещений на презиционных приводах прямого действия для сборочного и оптико-механического оборудывания микроэлектроники, обладающего повышенными совокупными характеристиками точности и быстродействия.The aim of the work: development of reconfigurable executable parallel mechanisms having six degrees of freedom for multi-axis motion systems built on high-precision direct-drive actuators for assembly and optical-mechanical equipment of microelectronics with the enhanced cumulative characteristics of precision and performance.