Сильноточные источники ионов низких энергий для модификации поверхности и синтеза тонкопленочных структур

Котов, Д. А.; Kotov, D. A.

Сильноточные источники ионов низких энергий для модификации поверхности и синтеза тонкопленочных структур

Дата публикации: 2005

Дата публикации в реестре: 2021-08-05T18:05:01Z

Аннотация:

Целью работы является разработка сильноточных разрядных систем с замкнутым холловским током, исследование и совершенствование процессов высокоэффективной ионно-лучевой обработки.The aim of the work is the development of high-current gas-discharge ion sources with a closed Hall current, research and perfecting the processes of high efficacy ion-beam processing.

Ключевые слова:
авторефераты диссертаций, низковольтный разряд, источник ионов, интегрированная ионно-плазменная система, модификация поверхности, синтез тонкопленочных структур, low voltage discharge, ion source, integrated ion-plasma system, surface modification, thin film structure synthesis

Тип: Abstract of the thesis

Сильноточные источники ионов низких энергий для модификации поверхности и синтеза тонкопленочных структур

Связанные документы (рекомендация CORE)

Партнеры

Индексация