Дата публикации: 2000

Дата публикации в реестре: 2021-08-05T18:05:02Z

Аннотация:

Целью работы являлось повышение точностных, динамических и эксплуатационных характеристик прецизионных координатных систем на базе ЛШД путем математического моделирования, программных средств проектирования, корректирующих алгоритмов и их реализации в системе управления многокоординатного шагового привода для гибкого технологического оборудования в микроэлектронике.Purpose of the work is to increase accuracy, dynamic and operating performances of precision coordinate systems with linear stepping motors by means of mathematical modeling, software for computer-aided design, calibration algorithms and their implementation in control systems of multi-coordinate stepping drives for flexible technological equipment in microelectronics.

Тип: Abstract of the thesis