Формирование функциональных слоев соединений кремния с никелем, кобальтом, железом и палладием ионной имплантацией и ионно-плазменным нанесением

Коробко, А. О.; Karabko, A. A.

Формирование функциональных слоев соединений кремния с никелем, кобальтом, железом и палладием ионной имплантацией и ионно-плазменным нанесением

Дата публикации: 2009

Дата публикации в реестре: 2021-08-05T18:05:03Z

Аннотация:

Цель работы заключается в создании функциональных микро- и наноразмерных слоев с заданными свойствами в твердотельных структурах путем модификации монокристаллического кремния металлами Ni, Со, Fe и Pd с помощью методов ионной имплантации и ионно-плазменного нанесения для интеграции изделий микроэлектроники и спинтроники.The aim consists in creation of functional micro- and nanosized layers with given properties in solid state structures by modifying the single crystal silicon by Ni, Co, Fe and Pd metals by means of ion implantation and ion-plasma deposition for integration of microelectronics and spintronics wares.

Ключевые слова:
авторефераты диссертаций, кремний, ионы Ni, Со, Fe, силицид никеля, парамагнетизм, термический отжиг, модель Миедема, теплота образования, термостабильность, silicon, Ni, Co, Fe, nickel silicide, paramagnetism, thermal annealing, Miedema's model, heat of formation, thermal stability

Тип: Abstract of the thesis

Формирование функциональных слоев соединений кремния с никелем, кобальтом, железом и палладием ионной имплантацией и ионно-плазменным нанесением

Связанные документы (рекомендация CORE)

Партнеры

Индексация