Магнетронная распылительная система для формирования наноструктур - «Национальный агрегатор открытых репозиториев российских университетов» (НОРА)

Материалов:
1 005 012

Репозиториев:
30

Авторов:
761 409

расширенный поиск

Магнетронная распылительная система для формирования наноструктур

Кутько, А. Н.

Дата публикации: 2015

Дата публикации в реестре: 2021-08-05T18:06:15Z

Ключевые слова:
авторефераты диссертаций, наноструктуры, магнетронная распылительная система

Тип: Abstract of the thesis

Связанные документы (рекомендация CORE)