Разработка интегрированной в кремниевый кристалл системы излучатель-оптический волновод на основе наноструктурированных материалов для биосенсоров органических молекул сверхмалых концентраций : отчет о НИР (заключ.)

Смирнов, А. Г.; Муха, Е. В.; Позняк, П. С.; Казаркин, Б. А.; Жук, С. Д.

Разработка интегрированной в кремниевый кристалл системы излучатель-оптический волновод на основе наноструктурированных материалов для биосенсоров органических молекул сверхмалых концентраций : отчет о НИР (заключ.)

Смирнов, А. Г., Муха, Е. В., Позняк, П. С., Казаркин, Б. А., Жук, С. Д.

Дата публикации: 2015

Дата публикации в реестре: 2021-08-05T18:06:31Z

Аннотация:

Разработан интегрированной в кремниевый кристалл системы излучатель-оптический волновод на основе наноструктурированных материалов для биосенсоров органических молекул сверхмалых концентраций с использованием стандартных технологий полупроводникового производства.

Ключевые слова:
отчеты о НИР, наносетчатый электрод, пористый кремний, излучатели, шоттки-структура, волноводы

Тип: Technical Report

Связанные документы (рекомендация CORE)

Партнеры

Индексация