Плазменный синтез тонкопленочных покрытий в режиме ионно-пучкового фокуса : отчет о НИР (заключ.)

Достанко, А. П.; Телеш, Е. В.; Тхостов, М. Х.-М.; Титова, В. М.

Плазменный синтез тонкопленочных покрытий в режиме ионно-пучкового фокуса : отчет о НИР (заключ.)

Достанко, А. П., Телеш, Е. В., Тхостов, М. Х.-М., Титова, В. М.

Дата публикации: 2015

Дата публикации в реестре: 2021-08-05T18:06:35Z

Аннотация:

В процессе выполнения НИР разработаны и исследованы процессы плазменного синтеза тонкопленочных покрытий их диоксида и нитрида кремния и алмазоподобного углерода.

Ключевые слова:
отчеты о НИР, вторичный разряд, ионно-пучковый фокус, алмазоподобные пленки, ускоритель с анодным слоем, диоксид кремния, электрофизические характеристики

Тип: Technical Report

Плазменный синтез тонкопленочных покрытий в режиме ионно-пучкового фокуса : отчет о НИР (заключ.)

Связанные документы (рекомендация CORE)

Партнеры

Индексация