Стабилизация тлеющего разряда в генераторах парогазовой смеси для легирования эпитаксиальных слоев кремния - «Национальный агрегатор открытых репозиториев российских университетов» (НОРА)

Материалов:
1 005 012

Репозиториев:
30

Авторов:
761 409

расширенный поиск

Стабилизация тлеющего разряда в генераторах парогазовой смеси для легирования эпитаксиальных слоев кремния

Боярщонок, Е. В.

Дата публикации: 2017

Дата публикации в реестре: 2020-02-28T12:01:15Z

Тип: Научный доклад (Working Paper)

Связанные документы (рекомендация CORE)

Партнеры

КФУ

ТГУ

Elpub

СФУ

Webpublishers

Индексация

BASE

WorldCat

OpenAIRE

EDS

core