Анализ дифракционных картин при синтезе наногетероструктур Ge/Si

Дирко, Владимир Владиславович; Лозовой, Кирилл Александрович; Коханенко, Андрей Павлович; Кукенов, Олжас Игоревич

Анализ дифракционных картин при синтезе наногетероструктур Ge/Si

Дирко, Владимир Владиславович, Лозовой, Кирилл Александрович, Коханенко, Андрей Павлович, Кукенов, Олжас Игоревич

Дата публикации: 2020

Дата публикации в реестре: 2021-08-05T23:20:19Z

Ключевые слова:
дифракция быстрых электронов, эпитаксия германия, кремниевые поверхности, экспериментальные исследования

Тип: статьи в сборниках

Источник: Школа молодых ученых "Актуальные проблемы полупроводниковых наносистем", 14-16 декабря, Новосибирск, Интернет-конференция Zoom: 886 6967 7489 : тезисы докладов. Новосибирск, 2020. С. 23-24

Анализ дифракционных картин при синтезе наногетероструктур Ge/Si

Связанные документы (рекомендация CORE)

Партнеры

Индексация