Применение легкоплавкой системы LiCl-KCl-CsCl для электролитического осаждения кремния

Павленко, О. Б.; Устинова, Ю. А.; Жук, С. И.; Суздальцев, А. В.; Зайков, Ю. П.

Применение легкоплавкой системы LiCl-KCl-CsCl для электролитического осаждения кремния

Павленко, О. Б., Устинова, Ю. А., Жук, С. И., Суздальцев, А. В., Зайков, Ю. П.

Дата публикации: 2021

Дата публикации в реестре: 2021-09-06T12:14:34Z

Аннотация:

В настоящей работе для электролитического осаждения кремния применена легкоплавкая система LiCl-KCl-CsCl (температура плавления 260°С) c добавкой 0,1 мас.% K[2]SiF[6] по данным химического анализа.

Ключевые слова:
водорастворимая система KF-KCl, осаждение кремния, электролитическое осаждение кремния, легкоплавкая система LiCl-KCl-CsCl, кремнийсодержащие ионы

Тип: Article

Применение легкоплавкой системы LiCl-KCl-CsCl для электролитического осаждения кремния

Связанные документы (рекомендация CORE)

Партнеры

Индексация