Дата публикации: 2020

Дата публикации в реестре: 2021-10-05T17:32:15Z

Аннотация:

Атомно-силовая микроскопия (АСМ) – уникальный метод, позволяющий увидеть и измерить структуру поверхности образца быстро, с высокими раз-решением и точностью. За последние 20 с лишним лет своего существования метод АСМ открыл широкие возможности для всестороннего изучения мор-фологии и различных локальных свойств поверхности. Несомненные преимуще-ства АСМ включают: 1) возможность проведения исследований в широком диапазоне темпера-тур на воздухе, в вакууме, в жидких и газообразных средах; 2) отсутствие ограничений, связанных с проводимостью образца; 3) возможность проведения прецизионных измерений топографии поверх-ности, перекрывающих по длине несколько порядков; 4) потенциал микроскопа как инструмента для локальной модификации поверхности. При разработке новых АСМ-методик часто приходится сталкиваться с рядом проблем: 1) проблема влияния на результаты измерений факторов различного про-исхождения (аппаратных или методических); 2) проблема интерпретации АСМ-изображений, полученных при разных режимах и в разных условиях; 3) проблема метрологического обеспечения АСМ-измерений, связанная с получением надежных количественных характеристик, позволяющих наибо-лее полно и адекватно описать свойства микрорельефа поверхности. Важной задачей остаются обработка и анализ полученных АСМ-изобра-жений. Зачастую сделать хорошее изображение не получается, так как его качество может снижаться под влиянием множества факторов, таких как состояние зонда микроскопа, время сканирования, условия сканирования, раз-личного рода помехи и т.д. Для получения качественного изображения прибе-гают к специальным методам и различным программам обработки. В данной работе показано, как происходят анализ и обработка изображе-ний, полученных на атомно-силовом микроскопе. Рассмотрены методы получе-ния качественных АСМ-изображений с использованием различного программно-го обеспечения. Представлены исходные и обработанные АСМ-изображения анодного оксида алюминия: на исходных изображениях присутствуют арте-факты (программные дефекты при съемке), на обработанных изображениях артефакты минимизированы с помощью программного обеспечения.

Тип: статьи в журналах

Источник: Вестник Томского государственного университета. Химия. 2020. № 19. С. 14-20