Дата публикации: 2001

Дата публикации в реестре: 2022-10-06T13:01:57Z

Аннотация:

Тонкие пленки на основе оксида вольфрама с добавками ванадия были получены путем магнетронного распыления мишени W-V мозаичного типа на подложку из окисленного кремния с последующим окислением в воздушной атмосфере при температуре 400 °С. Полученные пленки были исследованы на газочувствительность при повышенной температуре в атмосфере с контролируемой концентрацией водорода и различной влажностью путем измерения проводимости пленок. Пленки показали хорощую чувствительность к водороду. При анализе экспериментальных данных было выяснено, что наиболее благоприятными условиями является темпрература 370-470 °С, так как в этом интервале пленки демонстрируют высокую чувствительность к водороду и малое время отклика. Полученные пленки могут быть использованы в качестве сенсорных слоев в датчиках на водород и другие газы.

Тип: Article