Материалов:
1 108 058

Репозиториев:
30

Авторов:
761 409

расширенный поиск

Формирование пленок нитрида титана-циркония реактивным магнетронным распылением мозаичной мишени

Нестерчик, Р. И., То, К. Т., Голосов, Д. А., Бурдовицин, В. А., Завадский, С. М., Мельников, С. Н.

Дата публикации: 2022

Дата публикации в реестре: 2022-10-06T13:05:53Z

Аннотация:

В работе исследованы вопросы формирования пленок нитрида титана-циркония реактивным магнетронным распылением мозаичной мишени.

Ключевые слова:
нитридные покрытия, пленки нитрида титана-циркония, нитрид титана-циркония, реактивное распыление, магнетронное распыление, мозаичная мишень, легирующие элементы

Тип: Article

Связанные документы (рекомендация CORE)

Партнеры

КФУ
ТГУ
Elpub
СФУ
Webpublishers

Индексация

BASE
WorldCat
OpenAIRE
EDS
core