Влияние температуры отжига на оптические свойства пленок IN[2]O[3]

Омарбекова, Г. И.; Аймуханов, А. К.; Ильясов, Б. Р.; Мұхамеджанова, А. М.

Влияние температуры отжига на оптические свойства пленок IN[2]O[3]

Омарбекова, Г. И., Аймуханов, А. К., Ильясов, Б. Р., Мұхамеджанова, А. М.

Дата публикации: 2021

Дата публикации в реестре: 2022-10-06T13:06:22Z

Аннотация:

В данной работе для определения влияния температуры отжига на оптические свойства и на ширину запрещенной зоны In[2]O[3] были измерены спектры поглощения, пропускания и отражения пленок, отожженных при разных температурах и приведен график Таука (Tauc plot) для определения ширины запрещенной зоны.

Ключевые слова:
пленки In[2]O[3], процесс термического оксидирования, оптическое поглощение пленок, температура отжига, график Таука

Тип: Article

Влияние температуры отжига на оптические свойства пленок IN[2]O[3]

Связанные документы (рекомендация CORE)

Партнеры

Индексация