Изотермы адсорбции газов на поверхности пленок SnO[x], полученных термическим окислением олова

Зарапин, Виталий Георгиевич; Жарский, Иван Михайлович

Изотермы адсорбции газов на поверхности пленок SnO[x], полученных термическим окислением олова

Зарапин, Виталий Георгиевич, Жарский, Иван Михайлович

Дата публикации: 2005

Дата публикации в реестре: 2022-10-06T13:11:58Z

Аннотация:

Исследованы кинетические изотермы адсорбции газов на поверхности пленок SnO[x]. На основании анализа полученных кинетических кривых установлены типы кинетических изотерм адсорбции газов, показана связь между типом изотермы адсорбции, химической природой газа и температурой. Продемонстрирована возможность селективного распознавания газовых сред с использованием анализа кинетических изотерм адсорбции.

Ключевые слова:
полупроводниковые пленки, изотермы адсорбции, адсорбция газов, газовые среды, пленки SnO[x], олово, термическое окисление, уравнение кинетической изотермы Бенхема-Барта

Тип: Article