Тонкопленочные сенсорные структуры термоэлектрического типа на основе оксидов индия и олова и их физико-химические свойства

Лугин, Валерий Геннадьевич

Тонкопленочные сенсорные структуры термоэлектрического типа на основе оксидов индия и олова и их физико-химические свойства

Дата публикации: 2002

Дата публикации в реестре: 2022-10-06T13:14:00Z

Аннотация:

Диссертационная работа посвящена разработке и исследованиям тонкопленочных сенсорных структур термоэлектрического типа с целью создания «электронных органов чувств», способных воспринимать, преобразовывать и представлять в удобном виде информацию о параметрах окружающей среды, в том числе, о ее химическом составе.

Ключевые слова:
тонкие пленки, сенсорные структуры, термо-ЭДС, оксид индия, диоксид олова, полупроводниковые газовые сенсоры, магнетронное напыление, оксид олова

Тип: Doctoral Thesis

Тонкопленочные сенсорные структуры термоэлектрического типа на основе оксидов индия и олова и их физико-химические свойства

Связанные документы (рекомендация CORE)

Партнеры

Индексация