АСМ-микрозонды для механической нанолитографии - «Национальный агрегатор открытых репозиториев российских университетов» (НОРА)

Материалов:
1 005 012

Репозиториев:
30

Авторов:
761 409

расширенный поиск

АСМ-микрозонды для механической нанолитографии

Ширяева, Т. И., Кузнецова, Т. А.

Дата публикации: 2012

Дата публикации в реестре: 2022-10-06T13:42:34Z

Тип: Working Paper

Связанные документы (рекомендация CORE)