Рассматриваются перспективы легирования кремнием углеродных покрытий с точки зрения улучшения их термостойкости. Определено влияние термообработки на химический и фазовый состав, микротвердость и триботехнические свойства кремний-углеродных покрытий, сформированных путем ионно-лучевого испарения мишени на основе карбида кремния.