Напряжения, возникающие при осаждении тонкопленочных покрытий, оказывают существенное влияние на эксплуатационные свойства системы подложка-покрытие. В ряде случаев внутренние напряжения могут привести к растрескиванию и отслаиванию покрытий, ухудшению их антифрикционных, корозионных, декоративных и некоторых других свойств.