На поверхности кремния и наноструктурированных никелевых поверхностей методом Ленгмюра–Блоджетт сформированы пленки на основе перфторированных амфифльных кислот с добавлением различноко количества наночастиц диоксида кремния. Проведены исследования морфологии и шероховатости поверхности полученных пленок методом атомно-силовой микроскопии. Установлено увеличение значений шероховатости пленок Ленгмюра–Блоджетт на кремнии с увеличением содержания наночастиц. Пленка Ленгмюра–Блоджетт из перфторированной кислоты с 1 мг наночастиц оксида кремния приводит к уменьшению шероховатости на наноструктурированных никелевых поверхностях. Полученные слои планируется применять для управляемого изменения смачиваемости поверхности.