Материалов:
1 005 012

Репозиториев:
30

Авторов:
761 409

Эллиптический емкостной микродатчик давления

Дата публикации: 2021

Дата публикации в реестре: 2022-10-06T13:56:30Z

Аннотация:

Емкостной датчик давления состоит из подвижной мембраны, которая вызывает изменение емкости для приложенного давления. Для достижения высокой чувствительности используется тонкая мембрана большой площади с небольшим разделительным зазором между мембраной и металлическим контактом. Это приводит к нелинейности, уменьшает динамический диапазон измерений и увеличивает размер датчика. Таким образом, оптимальная конструкция датчика необходима для достижения баланса между этими компромиссами.

Тип: Working Paper


Связанные документы (рекомендация CORE)