Исследованы параметры пучков ионов меди в зависимости от режимов работы ионного источника и особенностей его конструкции. Измерения осуществляли с использованием ускорителя с анодным слоем, работающим в режиме ионно-пучкового фокуса, одиночного и многосеточного зондов. При измерениях плотности тока варьировались давление рабочего газа, ускоряющее напряжение на аноде Uа и расстояние h «ионный источник–диафрагма». Установлено, что при низких давлениях рабочего газа и при ускоряющем напряжении свыше 1,5–2,0 кВ наблюдается снижение плотности тока ионов. Увеличение h способствовало снижению плотности тока электронов и росту плотности ионного тока до 10 мА/см2. Анализ тормозных характеристик показал, что энергия ионов изменялась в диапазоне 36–60 эВ.
