Литейно-деформационные принципы получения катодов-мишеней из комплексных силицидов для вакуумных ионно-плазменных источников

Иванов, И. А.; Шейнерт, В. А.; Слуцкий, А. Г.; Белый, А. Н.

Литейно-деформационные принципы получения катодов-мишеней из комплексных силицидов для вакуумных ионно-плазменных источников

Иванов, И. А., Шейнерт, В. А., Слуцкий, А. Г., Белый, А. Н.

Дата публикации: 2022

Дата публикации в реестре: 2022-10-06T14:07:34Z

Аннотация:

Применительно к технологии изготовления катодов- мишеней для установок ионно-плазменного нанесения покрытий и на основании ранее выполненных исследований разработаны основные практические принципы, включающие: металлургические, литейные, деформационные и термические процессы.

Тип: Working Paper

Литейно-деформационные принципы получения катодов-мишеней из комплексных силицидов для вакуумных ионно-плазменных источников

Связанные документы (рекомендация CORE)

Партнеры

Индексация