Оптические и электрофизические свойства тонких пленок ZnO с легирующими добавками ITO

Чумаков, А. Н.; Гулай, А. В.; Шевченок, А. А.; Баран, Л. В.; Кароза, А. Г.; Малютина-Бронская, В. В.; Гулай, В. А.; Босак, Н. А.

Оптические и электрофизические свойства тонких пленок ZnO с легирующими добавками ITO

Чумаков, А. Н., Гулай, А. В., Шевченок, А. А., Баран, Л. В., Кароза, А. Г., Малютина-Бронская, В. В., Гулай, В. А., Босак, Н. А.

Дата публикации: 2017

Дата публикации в реестре: 2022-10-06T14:10:03Z

Аннотация:

Методом импульсного высокочастотного лазерного осаждения керамических мишений в вакууме получены тонкие пленки ZnO с легирующими добавками ITO для сенсорных структур. Представлены результаты исследований микроструктуры распыляемых керамических мишеней.

Тип: Article