Специальные материалы и субмикронные компоненты. Лабораторный практикум : пособие

Соловьёв, Я. А.; Шахлевич, Г. М.; Петлицкий, А. Н.

Специальные материалы и субмикронные компоненты. Лабораторный практикум : пособие

Соловьёв, Я. А., Шахлевич, Г. М., Петлицкий, А. Н.

Дата публикации: 2022

Дата публикации в реестре: 2022-10-06T16:31:20Z

Аннотация:

Включает в себя лабораторные работы по исследованию дефектов кристаллического строения кремниевых подложек микросхем, топологии, элементного состава и электрофизических свойств субмикронных полупроводниковых структур, характеристик многослойных оптически прозрачных пленок на кремнии, а также моделированию и исследованию характеристик транзисторно-транзисторных логических микросхем и микросхем на КМОП-транзисторах. Предназначено для закрепления теоретических знаний магистрантов, полученных ими на лекциях и в процессе самостоятельного изучения дисциплины, приобретения навыков исследования субмикронных кремниевых структур на современном оборудовании.

Ключевые слова:
учебно-методические пособия, кремниевые подложки микросхем, КМОП-транзисторы, полупроводниковые структуры

Тип: Учебные материалы