Материалов:
1 082 141

Репозиториев:
30

Авторов:
761 409

расширенный поиск

Влияние плазмообразования на формирование потока материала в процессе магнетронного распыления

Шекелевский, В. В.

Дата публикации: 2021

Дата публикации в реестре: 2022-10-06T16:31:22Z

Ключевые слова:
авторефераты диссертаций, плазмообразование, магнетронное распыление

Тип: Статья

Связанные документы (рекомендация CORE)

Партнеры

КФУ
ТГУ
Elpub
СФУ
Webpublishers

Индексация

BASE
WorldCat
OpenAIRE
EDS
core