Дата публикации: 2008

Дата публикации в реестре: 2022-10-06T16:32:03Z

Аннотация:

К числу перспективных технологий микроэлектроники, позволяющих создавать рельефные поверхности сложного профиля, относится ультразвуковая технология, связанная с обработкой ультразвуком технологических сред при проведении электрохимических процессов получения тонких пленок металлов. При этом основной акцент ставится на существенное изменение гидродинамики электролита в приповерхностной зоне обрабатываемых тонкопленочных структур микро- и субмикронных размеров. Описаны результаты исследования закономерности микрораспределения меди в контрольных точках модельных образцов, и их применение на практике в получении осадка меди.

Тип: Статья