Using Machine Learning Methods to Predict the Magnitude and the Direction of Mask Fragments Displacement in Optical Proximity Correction (OPC) - «Национальный агрегатор открытых репозиториев российских университетов» (НОРА)

Материалов:
1 005 012

Репозиториев:
30

Авторов:
761 409

расширенный поиск

Using Machine Learning Methods to Predict the Magnitude and the Direction of Mask Fragments Displacement in Optical Proximity Correction (OPC)

Tryasoguzov P.E., Kuzovkov A.V., Karandashev I.M., Teplov G.S.

Дата публикации в реестре: 2022-10-06T17:31:52Z

Аннотация:

Ключевые слова:
artificial neural networks, computational photolithography, machine learning, optical proximity correction

Тип: Article

Права: open access

Источник: Optical Memory and Neural Networks (Information Optics)

Связанные документы (рекомендация CORE)

Партнеры

КФУ

ТГУ

Elpub

СФУ

Webpublishers

Индексация

BASE

WorldCat

OpenAIRE

EDS

core