ИССЛЕДОВАНИЕ ФИЗИЧЕСКИХ СВОЙСТВ УГЛЕРОДНЫХ АЛМАЗОПОДОБНЫХ ПОКРЫТИЙ, НАНЕСЁННЫХ МЕТОДОМ ИМПУЛЬСНОГО ЛАЗЕРНОГО ОСАЖДЕНИЯ

Николаева Д.В.; Генералов Д.В.; Паршин Б.А.; Макеев М.О.

ИССЛЕДОВАНИЕ ФИЗИЧЕСКИХ СВОЙСТВ УГЛЕРОДНЫХ АЛМАЗОПОДОБНЫХ ПОКРЫТИЙ, НАНЕСЁННЫХ МЕТОДОМ ИМПУЛЬСНОГО ЛАЗЕРНОГО ОСАЖДЕНИЯ

Николаева Д.В., Генералов Д.В., Паршин Б.А., Макеев М.О.

Дата публикации в реестре: 2022-10-06T17:39:26Z

Аннотация:

Цель исследования - определение толщин и оптических констант углеродных алмазоподобных покрытий, нанесённых методом импульсного лазерного осаждения, для выработки рекомендаций по технологическим режимам нанесения данных покрытий на медные и алюминиевые зеркала. Процедура и методы. Для определения толщин и оптических констант углеродных алмазоподобных покрытий применяется метод ИК-спектроскопической эллипсометрии. Результаты. Определены толщины и оптические константы углеродных алмазоподобных покрытий, нанесённых на образцы медных и алюминиевых зеркал методом импульсного лазерного осаждения. Теоретическая и практическая значимость. Определены оптимальные с точки зрения оптических характеристик технологические режимы нанесения алмазоподобных покрытий методом импульсного лазерного осаждения на медные и алюминиевые подложки.