Компоненты микросистемной техники. Основы конечно-элементного анализа радиочастотных микроэлектромеханических систем

Маринушкин, Павел Сергеевич; Левицкий, Алексей Александрович

Компоненты микросистемной техники. Основы конечно-элементного анализа радиочастотных микроэлектромеханических систем

Маринушкин, Павел Сергеевич, Левицкий, Алексей Александрович

Дата публикации: 2022

Дата публикации в реестре: 2022-10-06T20:42:22Z

Аннотация:

Доступ к полному тексту открыт из сети СФУ, вне сети доступ возможен для читателей Научной библиотеки СФУ или за плату.

Рассмотрены принципы работы компонентов радиочастотных микроэлектромеханических систем и описаны примеры использования современных технологий их моделирования с использованием программного комплекса ANSYS . Предназначено по кодификатору ФГОС ВО для направлений подготовки бакалавров 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника», 11.03.03 «Конструирование и технология электронных средств». Рекомендуется для всех специальностей и направлений укрупненных групп 110000 «Электроника, радиотехника и системы связи».

Ключевые слова:
микроэлектромеханические системы, моделирование электронных приборов, программный комплекс ANSYS для моделирования МЭМС, переключатели с электростатическим управлением, моделирование, микрорезонаторы, варакторы, МЭМС-варакторы, моделирование, микрорезонаторы на акустических волнах, моделирование, 621.396:004.4(07)

Тип: Book