Проведено исследование влияния облучения импульсным электронным пучком (ИЭП) в режиме отсутствия плавления поверхности на диффузию меди в приповерхностном слое ультрамелкозернистого (УМЗ) никеля. Определены профили распределения концентрации меди по глубине в УМЗ-никеле после изотермического диффузионного отжига и отжига в условиях облучения поверхности ИЭП. Установлено, что в результате облучения ИЭП в приповерхностном слое никеля повышается коэффициент зернограничной диффузии меди в никеле и изменяется режим зернограничной гетеродиффузии по сравнению с изотермическим диффузионным отжигом.