Влияние влажности окружающей среды на электрическую проводимость полиморфных Ga2O3-структур

Алмаев, Алексей Викторович; Николаев, Виктор Иванович; Степанов, Сергей Игоревич; Яковлев, Никита Николаевич; Печников, Алексей Игоревич; Черников, Евгений Викторович; Кушнарев, Богдан Олегович

Влияние влажности окружающей среды на электрическую проводимость полиморфных Ga2O3-структур

Алмаев, Алексей Викторович, Николаев, Виктор Иванович, Степанов, Сергей Игоревич, Яковлев, Никита Николаевич, Печников, Алексей Игоревич, Черников, Евгений Викторович, Кушнарев, Богдан Олегович

Дата публикации: 2021

Дата публикации в реестре: 2022-10-06T22:22:39Z

Аннотация:

Исследовано влияние влажности окружающей среды на электрическую проводимость структур a-Ga2O3 и a-Ga2O3/"-Ga2O3. Полиморфные эпитаксиальные слои Ga2O3 осаждались методом хлоридной газофазной эпитаксии на сапфировые подложки. В качества контактов использовались Pt и Pt/Ti. Обнаружено, что вольт-амперные характеристики структур Pt/a-Ga2O3/Pt и Pt/Ti/a-Ga2O3/"-Ga2O3/Ti/Pt имеют высокую чувствительность к влажности атмосферы в области температур 25−100◦C. Установлено, что влияние водяных паров на вольт-амперные характеристики является обратимым и наиболее существенные изменения тока в образцах наблюдаются при относительной влажности RH >= 60%. С повышением температуры эффект влияния влажности атмосферы на вольт-амперные характеристики уменьшается и при температурах T > 100◦C пропадает. Полученные экспериментальные результаты объясняются в рамках механизма Гротгусса.

Ключевые слова:
эпитаксиальные слои, эпитаксиальные пленки, полиморфные превращения, хлоридная газофазная эпитаксия, вольт-амперные характеристики, влажность атмосферы

Тип: статьи в журналах

Источник: Физика и техника полупроводников. 2021. Т. 55, № 3. С. 269-276