Методы исследования и управления микроплазменными процессами при синтезе покрытий

Мамаев, Анатолий Иванович; Мамаева, Вера Александровна; Беспалова, Юлия Николаевна

Методы исследования и управления микроплазменными процессами при синтезе покрытий

Мамаев, Анатолий Иванович, Мамаева, Вера Александровна, Беспалова, Юлия Николаевна

Дата публикации: 2022

Дата публикации в реестре: 2022-10-06T22:33:24Z

Аннотация:

Разработаны физические основы определения потенциалов зажигания и гашения микроплазменных разрядов в растворах. Получены хронопотенциометрические, хроноамперометрические зависимости от условий получения покрытий и зависимости постоянной времени переходного процесса от напряжения и длительности процесса, а также вольт-амперные зависимости при скоростях нарастания и спада напряжения потенциала от 106 до 108 V/s. Разработанный способ применим для управления процессом нанесения микроплазменных неметаллических неорганических покрытий и является основой методики in situ контроля нанесения покрытий.

Ключевые слова:
импульсное микроплазменное оксидирование, вольт-амперные зависимости, управляемый синтез оксидных покрытий

Тип: статьи в журналах

Источник: Журнал технической физики. 2022. Т. 92, № 9. С. 1440-1448