Разработаны физические основы определения потенциалов зажигания и гашения микроплазменных разрядов в растворах. Получены хронопотенциометрические, хроноамперометрические зависимости от условий получения покрытий и зависимости постоянной времени переходного процесса от напряжения и длительности процесса, а также вольт-амперные зависимости при скоростях нарастания и спада напряжения потенциала от 106 до 108 V/s. Разработанный способ применим для управления процессом нанесения микроплазменных неметаллических неорганических покрытий и является основой методики in situ контроля нанесения покрытий.